過濾減少了空氣中的分子污染風險

  需要嚴格控制微粒和空氣分子污染(AMC)，以實現(xiàn)高產(chǎn)量、低廢品率的半導(dǎo)體制造。

  AMC的來源包括：

  化學廢氣

  來自其他行業(yè)和工藝的廢氣

  汽車尾氣

  季節(jié)性因素

  AMC造成的故障通常分為：

  機械效應(yīng)包括冷卻氣流阻塞、移動或光學部件干擾以及表面變形。

  化學影響包括含硫和含氯鹽的灰塵造成電氣部件。

  電效應(yīng)包括阻抗變化和電子電路導(dǎo)體橋接。